半导体设备对材料的耐等离子体性、尺寸稳定性和析气率要求极为严苛。广东正浩特塑官网近期为某晶圆传输设备厂商提供的PEEK注塑机械臂末端执行器，正是这一领域的典型应用。

关键性能参数

该制品采用Victrex 450G级PEEK原料，通过广东peek注塑工艺一次成型。核心指标如下：

• 拉伸强度：≥100 MPa（ISO 527）
• 连续使用温度：250℃
• 体积电阻率：10¹⁶ Ω·cm
• 析气率（TML/CVCM）：≤0.5%/0.01%

模具加工要点

PEEK熔点高达343℃，peek模具加工需采用耐高温钢材（如S136H），模温控制在180–200℃。浇口设计宜用圆形截面，避免剪切过热导致降解。我们建议客户在量产前进行模流分析，以平衡收缩率（约1.2%–1.5%）。

作为专业的peek制品厂家，广东正浩特塑官网提醒：注塑后需在200℃下退火4小时，消除内应力，否则在半导体高真空环境下易产生微裂纹。

常见问题

问：PEEK制品能否替代金属？答：在需要绝缘、轻量化的场景可替代，但承载结构仍需金属骨架复合。

目前该执行器已通过客户2000小时等离子体刻蚀测试，累计出货超5万件。欢迎访问广东正浩特塑官网获取更多半导体PEEK应用案例。